LISICO 乐思科 3D光学干涉轮廓仪

LISICO 乐思科 3D光学干涉轮廓仪的优势：

降低三维纳米显微技术产品化的成本

扩大技术的测量范围

拥有独立自主的核心技术

统一的核心技术平台、针对不同的产业，不同的辅助软件、辅助硬件配置，系列检测技术和系统

多年半导体检测技术研发和产业化经验

所有的关键硬件来自美国、德国日本等

PI，纳米移动平台及控制

Nikon，干涉物镜

NI，信号控制板和Labview64控制软件

TMC 隔震平台

原理：

干涉测量技术:快速灵活、超纳米精度、测量精度不受物镜倍率影响

应用

1. 在太阳能产业的应用

激光开孔形貌图，薄膜太阳能电池技术

2. 在集成电路产业的应用

上海人和科学仪器有限公司（以下简称“人和公司”）历经三十年的发展，目前服务过的客户已经超过20000家，众多

企业皆已成为人和的忠实客户。人和公司从最初仪器设备以及售后服务的提供商，到现在引进*的自动化、智能化、

拥有物联网的在线仪器和生产设备，为客户量身定制整体解决方案，通过专业、细致和全面的技术服务实现“为客户

创造更多价值”的承诺。

人和公司始终聚焦行业痛点，在解决方案中不断融入符合中国制造2025标准，具有自动化、智能化、数字化、微型

化和模块化带物联网的仪器设备。让客户通过这些仪器设备实时获取生产过程中的信息反馈，进行综合分析，不断

优化生产工艺，从而实现在提高产品质量的同时，降低生产成本。