FAAS 8000ICS 在线阴阳离子监测系统采用撞击式气体吸收技术结合离子色谱分析方法，实现了多点采样、气体自动吸收富集、在线质量控制等全自动在线监测功能，解决了洁净室AMC监测过程中人员投入大、数据监测频率低、数据反馈不及时等问题；可应用于半导体厂区气态分子污染物（AMC）中酸性物质（MA）、碱性物质(MB)污染物的在线监测。

FAAS 8000ICS 在线阴阳离子监测系统性能优势

数据可靠

系统实现了自动远距离采样、自动富集吸收、自动质量控制、自动分析、数据自动上传全流程自动化。

避免人工误差引入，数据准确可靠。

灵敏度高

大体积进样浓缩，大幅提高系统检测能力，检出限可达亚ppt级，缩短系统运行周期。

FAAS 8000ICS 测试部分阴阳离子的检出限

监测面广

单套系统最多可配置32个点位的样品采集；

系统通过真空泵远距离采样，可覆盖300m范围内样品的在线监测。

设计合规

系统管路及阀组采用洁净的聚四氟乙烯材料设计，满足SEMI F57中相关析出杂质的控制要求。

吸收高效

在线双吸收模块设计，有利于节约样品分析时间，数据输出更快更高效！

应用领域

FAAS 8000ICS 在线阴阳离子监测系统主要应用于洁净室环境空气中水溶性酸碱性污染物的在线监测，可扩展至大气中离子污染物的检测。