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氦离子气相色谱仪对纯氦、高纯氦和超纯氦中痕量杂质的检测
1、检测项目
项目 | 指标 | |||
纯氦 | 高纯氦 | 超纯氦 | ||
氦气（He）纯度（体积分数）/10-2 | 99.99 | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
氖气（Ne）纯度（体积分数）/10-6 | 40 | 15 | 4 | 1 |
氢气（H2）纯度（体积分数）/10-6 | 7 | 3 | 1 | 0.1 |
(氧气（O2）+氩（Ar)）纯度（体积分数）/10-6 | 5 | 3 | 1 | 0.1 |
氮气（N2）纯度（体积分数）/10-6 | 25 | 10 | 2 | 0.1 |
一氧化碳（CO）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
二氧化碳（CO2）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
甲烷（CH4）纯度（体积分数）/10-6 | 1 | 1 | 0.5 | 0.1 |
水分（H2O）纯度（体积分数）/10-6 | 20 | 10 | 3 | 0.2 |
总杂质含量（体积分数）/10-6 | 100 | 50 | 10 | 1 |
2、气体标准
3、GC-9280 氦离子气相色谱仪概述：
GC-9280氦离子气相色谱仪对纯氦、高纯氦和超纯氦中痕量杂质的检测，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护的进样切换阀、连同氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的气体分析解决方案。
仪器特点
1.采用多柱箱分离，维护方便、性能稳定。
2. 快速启动：开机一小时内可以进样分析
3. 快速关机：分析完成即可关机，无需长时间等待降温。
4.节约载气：待机状态下可以节约95％载气用量。
技术参数
（PDHID检测器）检测限（ppb）：
一般杂质 | ||||||||
种类 | H2 | He | O2 | N2 | Ar | Ne | CO | CO2 |
检测限 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 500 | 25 | 5 |
碳氢化合物 | ||||||||
种类 | C2H4 | C2H6 | C3H6 | C3H8 | C4H8 | C4H10 | iC4H10 | |
检测限 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | |
