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PlasmaPro 100 Estrelas
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牛津仪器(上海)有限公司
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PlasmaPro 100 Estrelas平台旨在确保覆盖MEMS,良好封装和纳米技术的广泛应用,从光滑侧壁工艺到高刻蚀速率腔刻蚀、高深宽比工艺和锥形通孔刻蚀,不需要更换腔室硬件就可以实现。
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