PlasmaPro 80 PECVD

PlasmaPro 80 PECVD

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-11-30 17:55:40
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牛津仪器(上海)有限公司

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产品简介

PlasmaPro 80是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统，可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置，便于使用，且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸，是研究、原型设计和小批量生产的理想选择。 它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高性能工艺。 询价 增加到询价列表 在询价列表中查看此产品

详细介绍

  • 高质量PECVD沉积氮化硅和二氧化硅，用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途
  • 用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀
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