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使用匀胶显影机的具体方法

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2016/10/31 13:55:56

匀胶显影机 型号:SC100-DE
  SC100-DE匀胶显影机是一种既可用于精密匀胶操作,又可用于半导体显影和清洗的台面式设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。 

  不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别200瓦伺服电机系统,采用与track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中的zui大达到50000RPM/S的旋转加速度,确保匀胶和显影的稳定性和高的可重复性。 
主要性能指标: 
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)  
旋涂程序:zui多可存100组程序,每组100步,每个步骤可到0.1秒  
转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)  
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm  
转速调节精度<1rpm,重复性< 1rpm  
工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圆晶)  
标准配置两路喷液系统(显影液和去离子水) 



产品特性优点: 
主机在SC100-SE匀胶机上升级,增加耐腐蚀高分子材料防溅式罩盖 

全程序编辑功能,更方便的智能化操作,更好的显影/清洗效果  
可实现zui多独立四路喷液用于显影/清洗工作,或进行氮气吹干  
控制器可实现程序自动控制喷液或进行手动操作,使用更加方便 

显影系统可进行喷雾式、柱流式多种选择,视要求进行配置  
提供客户定制化的显影系统配置和工装设计  
高可靠性和重复性,高转速精度和更高转速可选  
可添加去边胶和背胶清洗功能

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