北京精测电子科技有限公司
2016/11/2 11:47:28LH3-SC200-SE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备(track)的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别400瓦伺服电机系统,采用于track设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中的zui大达到50000rpm/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和*的可重复性。
主要性能指标:
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
旋涂程序:zui多存100组程序,每组100步,每个步骤可到0.1秒
转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s
马达旋涂转速稳定性能误差<±1rpm
转速调节精度<1rpm,重复性<1rpm
工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圆晶)
旋涂作业均匀性:<±3%在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品特性优点:
的内部紧凑设计,缩小了设备的尺寸。
7"触屏控制面板操作系统,更方便操作。
on?/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,生锈,便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部(以利于排风效率和匀胶均一性)。
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸:
613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)