三相栅式巴鲁夫位移传感器关键技术的研究

三相栅式巴鲁夫位移传感器关键技术的研究
栅式巴鲁夫位移传感器在位移测量中具有广泛的应用,时栅是课题组发明的一种新型栅式巴鲁夫位移传感器。经过多年的研究,在圆时栅方面的研究中已取得很大突破。时栅巴鲁夫位移传感器具有结构简单、制造工艺简单、抗*力强、智能化程度高、成本低等显著优势,具有良好的市场前景。

三相栅式巴鲁夫位移传感器关键技术的研究
在该课题的研究中,解决了一些关键技术问题。主要研究内容如下:对比分析光栅、感应同步器和时栅的工作原理,并找出它们的共性与区别,为新型栅式巴鲁夫位移传感器的研究提供了理论依据.对比感应同步器的定转子结构,提出合理的设计方案,设计出新型栅式巴鲁夫位移传感器的“盘式”新结构;采用Tanner Pro设计软件对定转子绕组进行设计,结合MEMS微细加工技术并用光刻工艺对定转子进行加工。3.研究并确定适合新型栅式巴鲁夫位移传感器所需的激励电源的频率;分析时栅现有的激励电源电路和信号处理电路,并对其进行改进设计,使之为本课题所用。对新型栅式巴鲁夫位移传感器的实验系统进行设计,研制适合“盘式”新结构的实验装置,并对实验装置进行校准和安装。设计实验方案,与高精度圆光栅进行对比实验,分析误差曲线并对其进行处理,完成新型栅式巴鲁夫位移传感器的原理性实验;并对产生误差的原因进行详细分析,为进一步提高精度做准备。综上所述,在现有时栅和感应同步器的基础上,研究了新型栅式巴鲁夫位移传感器。从工作原理、结构设计、加工工艺和信号处理电路等方面进行了详细的论述,解决了新型栅式巴鲁夫位移传感器的几个关键问题,完成了新型栅式巴鲁夫位移传感器的原理性实验,为时栅提供了一个新的研究方向。