2017-11-01 INFICON英福康
工业中常见的泄漏检测方法有
• 水检测试法
• 压降/压差测试法
• 氢气测试法
• 氦气泄漏测试
水检测试法：
该方法是将充满气的部件放入水中，看气泡出来。
在泄漏0.06sccm下，每秒在理想的情况下能够产生一个泡。现实当中，气泡不能够很简单的离开元件表面，所以这种检漏方法一般只能到达0.6sccm.限制了该方法的工业应用。
压降/压差测试法：
工业中目前普遍采用的是压力衰减模式，测试工件内充入规定的测试压力的空气或者氮气，经过一段时间的稳定，测试压力的下降，根据产品的容积计算出泄漏流量，计算公式如下：
压力泄漏测试法，有以下因素干扰：
√ 温度问题
√ 不适用于柔性测试样本
常压腔氦或氢累积泄漏检测法：
方法是在非真空状态下通过简单累积室进行的。与空气测试不同，INFICON 累积法的测试结果不受温度或湿度的影响，产生极其可靠的测试结果，具有很高的可重复性。
√ 常压下的检漏技术
√ 简易、低成本累积腔体
√ 检漏精度到达10-5mbar.l/s
真空箱氦泄漏检测法：
产品工件充入对应的检测压力，外部腔体抽空，泄漏出来的氦气被检漏仪抓取，检测出泄漏量。
氦或氢吸枪泄漏检测法：
使用示踪气体的方法：吸枪法
• 总是由内至外
• 远距离高速度的高吸气气体流量
• 适用于定位漏率点
• 或已知道漏率大概位置
各种方法检测精度比较
