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英福康Modul1000 模块式氦质谱检漏仪
中级会员第15年
代理商杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商,专业销售INFICON旗下的真空产品及设备,同时致力于先进真空技术的推广和应用,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前,公司所经营的产品主要有三大类: 一、膜厚控制/监测系统,产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等;二、气体检漏/分析系统,产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪(即残余气体分析仪)及其他类型检漏仪;三、真空监测/控制系统,产品主要包括:真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等;产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!
模块式氦质谱检漏仪有超卓的可靠性满足生产商的长期*运行。
Modul1000提供高测量稳定性和环境田间的隔离性,用于在变化的条件下长期保持重复良好的测量。离子源灯丝设计于长寿命,保证3年的使用期,大大降低计划外的停机与维护费用。
智慧的结构提高测量的确定性的I.CALTM部测量范围内,高速的准确测量。使Modul1000能快速地识别与显示真实的漏率信号。为便于仪器的交换使用,可将用户设置值贮存于可移动的I.Stick中,以便简易,快速的参数传送。
Modul1000提供灵活的输入和状态输出,用于PLC控制。此外,可通过RS232通讯接口进行控制与数据采集。显示单元选项通过直观的菜单提供简易的操作.易于设定自动控制检漏测试程式,实效的软件功能,可直接用阀门控制测试系统无需使用附加的PLC。
特点/ 效益
1.模块式氦质谱检漏仪小型结构,易整合与工作台或机架系统中
2.即插即用安装;灵活的界面
3.宽量程检测系统:从0.1至,<5×10-12毫巴 ·升/秒
4.支持任何大小的前级
5.智慧化的I ·CAL功能在全部测量范围内提供准确的测试结果
6.宽范围电源
7.内置校准漏孔
8.灵活的控制:通过选件显示单元,遥控,PLC或PC
9.自诊断能力
10.低使用成本
11.为简易的数据传输,参数设定值可贮存于内置的可移动的I · STICK上
技术规范
小可检漏率 | <5×10-12毫巴·升/秒 |
大进气口压强 | 0.4毫巴 |
工作模式 | 宽量程 无交选(12个量级) |
氦抽速,在进气口处 | 2.5升/秒 |
离子源 | 2根灯丝, 敷途氧化铱/钇 |
启动时间 | <3分钟 |
进气口/前级真空口 | DN 25 KF |
电源 | 85-265伏,50/60Hz |
控制输入 | 8×PLC兼容的(大35伏) |
状态/阀门控制触发值输出 | 9/11/3×继电器触点(大60伏交流/25伏直流/1安 |
图形记录仪输出线性对数 | 2×0-10伏可编程 |
建议前级泵 | 2.5-16米3/小时, 油式或干式泵 |
尺寸(宽×深×高) | 535×350×339毫米(21×13.8×13.4) |
重量 | 30公斤( 66磅 ) |
订货资料 订货号
Modul1000, 真空型 550-300
Modul1000, 真空和吸枪型 550-310
附件
显示单元,桌上型 551-100
显示单元,机架安装型 551-101
显示单元连接电缆,5米 551-102
成套连接插头 551-110
吸枪管线SL200 140 05
手持单元 200 99 022
手持单元连接电缆,4米 200 99 027