由于高真空状况下气体密度减少到很小的程度，电子或离子的自在程将很
固体介质击穿长，以致在空隙中不易发作碰撞电离，因而空隙的击穿电压将会很高(帕邢定律的左半支曲线)。某些设备高真空空隙的击穿场强可高达1.3MV/cm。影响真空空隙击穿进程有许多要素，如真空度、空隙间隔、电极资料、电极状况、电压作用时间等。在真空放电中，电极表面进程，特别是阴极表面进程是非常重要的，许多研究工作围绕着这个问题进行，提出了各种真空击穿放电模型，如场致发射模型、微粒模型、微放电模型等。关于脉冲电压击穿的机制，看法比较一致。关于稳态电压下的真空击穿机制，P.A.恰特登以为，在空隙间隔d≈10^-3~10^-1cm的区域，可能是场致发射引起击穿;在d≈10^-1~1cm的区域，可能是微放电的击穿机制;更大的空隙， 可能是微粒击穿机制。
工频沟通电压效果下的气体介质击穿。在均匀电场(见不均匀电场)的空隙中，工频击穿电压和直流击穿电压相等。在极不均匀电场的空隙中(如棒-板间
气体介质击穿隙)，击穿总是发生在棒电极处于正极性的状况，因而沟通击穿电压幅值与正极性棒对负极性板空隙的直流击穿电压附近。棒-板空气空隙的沟通平均击穿场强为Eа≈4.8kV/cm，与上述E+很接近。为供给高电压输电线或变电所空气空隙距离的规划根据，近年来很多人研究长空气空隙的工频击穿电压(见长空隙击穿)。图2为1~ 10m空隙距离的击穿电压曲线。图中，曲线1、2是棒-棒电极空隙，上棒电极均为5m，下棒电极分别为6m及3m，两者的击穿电压稍有差异。这是因为曲线2的下棒电极短，大地的影响大。曲线3是棒-地空隙的击穿电压，它比棒-棒空隙的数值低许多，并且有"饱满"的趋势。这些实验是在室内进行的，后来由野外实验说明，并未呈现"饱满"现象。"饱满"现象是因为实验室墙的影响引起的。进行长空隙的实验需要很大的实验室，出资很多。因而许多人在研究用理论模型核算或实验模仿来替代实践尺寸的实验。
电压击穿试验仪
