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为满足您的晶圆映射需求,巴鲁夫提供高精度光电传感器,可完美集成到末端执行器内。我们的映射传感器经过专门设计,适合极薄的末端执行器,传感器的光斑均匀且受控性和聚光性*,因此,该传感器可识别甚至只有几微米厚度的晶圆,精度*。该传感器能可靠识别整个卡槽,重叠的晶圆或歪斜的晶圆能始终得到识别。
映射传感器基于光电Micromote技术,它将一个极小的光学传感器头与外部处理单元(放大器)组合到一起,两者通过高柔性电缆连接。这意味着您可以将传感器应用于任何机械安装方式,与其他Micromote传感器一样。
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德国PILZ皮尔兹控制器
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