晶圆映射传感器 – 在狭隘的空间内保障高精度

可集成到末端执行器内，非常适合晶圆映射

为满足您的晶圆映射需求，巴鲁夫提供高精度光电传感器，可完美集成到末端执行器内。我们的映射传感器经过专门设计，适合极薄的末端执行器，传感器的光斑均匀且受控性和聚光性*，因此，该传感器可识别甚至只有几微米厚度的晶圆，精度*。该传感器能可靠识别整个卡槽，重叠的晶圆或歪斜的晶圆能始终得到识别。

映射传感器基于光电Micromote技术，它将一个极小的光学传感器头与外部处理单元（放大器）组合到一起，两者通过高柔性电缆连接。这意味着您可以将传感器应用于任何机械安装方式，与其他Micromote传感器一样。