当前的高效过滤器方法有：粒子计数器法、光度计法。光度计法不如粒子计数法灵敏。粒子计数法，以粒子计数器作为检测仪器，使用单分散或多分散气溶胶，灵敏度高，多用于高效过滤器。
粒子计数器跟光度计的区别在于，光度计采用火焰光度计，对NACL燃烧的火焰色度作响应，灵敏度低，且NACL对微电子产品质量有害，国外已不用。
检测仪器可使用气溶胶光度计或粒子计数器。粒子计数器检测的是粒子数量的分布，以粒/L单位表示。而光度计检测的是粒子质量浓度，以mg/L表示，多数量分布粒子与大浓度分布的粒子并不处于同一粒径。粒径与重量成三次方关系，大粒径的粒子在浓度分布中占有较大的比重，因此在检测效率过滤时，使用粒子计数器和光度计得到的结果有差别，与粒子计数器相比，光度计灵敏度很低，因此不用来检测H13级以上高效过滤器，对于制药企业高效过滤器的捡漏而言，光度计使用方便，检测结果易以判断，对泄露检测比较敏感和广泛应用。
