薄膜是一种物质形态，它所使用的膜材料非常广泛，可以是单质元素或化合物，也可以是无机材料或有机材料。薄膜与块状物质一样，可以是单晶态的，多晶态的或非晶态的。近年来功能材料薄膜和复合薄膜也有很大发展。镀膜技术及薄膜产品在工业上的应用非常广泛，尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有及其重要的地位。
镀膜方法可以分为气相生成法，氧化法，离子注入法，扩散法，电镀法，涂布法，液相生长法等。气相生成法又可分为物理气相沉积法，化学气相沉积法和放电聚合法等。
真空蒸发，溅射镀膜和离子镀等通常称为物理气相沉积法，是基本的薄膜制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以，真空技术是薄膜制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。
真空系统的种类繁多。在实际工作中，必须根据自己的工作重点进行选择。典型的真空系统包括：获得真空的设备（真空泵），待抽空的容器（真空室），测量真空的器具（真空计）以及必要的管道，阀门和其它附属设备。
▲炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
▲加热形式有电阻及感应式两种，电阻加热材料有钼丝（带）、钨丝（带）、石墨棒（板）、钽棒、镍铬丝（带）几种类型，可根据不同的温度和工艺要求进行选择。
▲加热保温层有金属型和复合型两种，根据不同工艺条件进行选择。
▲真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成，根据工艺要求可自行选择。
▲温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。
▲真空测量可选择数字式智能真空计及优质的测量规管，确保真空度的准确性及产品可靠性。
▲可以配备多点记录仪，进行全程工艺分析、质量监控及生产管理。
▲根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
▲可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等，满足充气压力可控、多路充气等要求。
▲对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。
▲快冷却系统可选择自然冷却及热交换器循环方式，对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统，提高降温速度。
