已安装高效过滤器泄漏测试＊
因该项目测试时可能对洁净室造成一定程度的污染，影响其它项目的测试，将其放在最后测试。
1．测试目的
通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。
2．测试仪器设备
仪器名称 | 型号 | 编号 | 误差 |
气溶胶发生器 | TDA-5B |
| ―― |
气溶胶光度计 | TDA-2i |
| ±5% |
惰性气体源 | 一般选择氮气 | ―― | ―― |
3．测试状态与前提条件
4．合格标准
过滤器下方测得的气溶胶浓度不超过上游浓度10－4，即泄漏率≤0.01%。
5．测试操作
5.1准备工作
5.2气溶胶烟雾的引入
向气溶胶发生器中加入适量PAO液体，通电加热至393.3℃￣404.4℃。置空调箱负压段（必要时拆除部分中效），接通压力压力源，开启喷嘴调节阀，开启压力调节阀（0.1Mpa￣0.3Mpa），调节气溶胶烟雾的输出量。
5.3 0基准和100%基准的设定
确认光度计选择阀处在CLEAR的位置。将电源开关设置到1（On）的位置，按ENTER键，设置零基准线。
采样管穿过验证孔，一端与上游（高效过滤器进风侧）采样口连接，另一端与气溶胶光度计接通。光度计选择阀拨到UPSTREAM位置，测定上游气溶胶浓度。调节气溶胶发生器输出阀的开合度，直至确认上游浓度达到10-20μg/L。按100键，然后按ENTER键，设定100%基准。
100%基准线成功设置之后，＜0＞指示灯将闪烁，表明0%基准线必须进行校正。将选择阀设置到CLEAR，并按ENTER键，0%基准线得到校正。
5.4光度计扫描
选择阀转向＜DOWNSTREAM＞，将编号CY－01矩形采样头与光度计连接，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架间进行扫描。
扫描时，采样头离过滤器距离约2-4cm，速度约在3-5cm/s之间。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。
矩形扫描探头最大面积扫描速度不应超过15cm2/s。
扫描时仪器显示出有等于或大于限值的泄漏，把探头停在泄漏处，在光度计上显示最大读值的探头位置，即为泄漏位置。画出示意图，标明泄漏位置和最大泄漏值。
注意：扫描过程中避免箱体上的积灰干扰，采样头不能碰到高效风口箱体或过滤器的框架。
在扫描工作中间及最后，核查上游气溶胶浓度，以确定其稳定性。当上游气溶胶浓度变化超过±15%时，重新设定100%基准，并追溯检查。
6．测试结果
详见：高效过滤器检漏原始记录。
7．结果分析
本次检测对 车间 个房间 个已安装高效过滤器进行了泄漏测试，测试数据证明：该区域已安装的高效过滤器的完整性和安装的密封性
□符合相关标准的要求，可以投入使用；
□部分高效过滤器泄漏，需更换后重新测试；
□部分高效过滤器与静压箱连接的边框泄漏，需拆卸重新安装或采取相应的密封措施后重新测试；
8．不符合纠正措施
8.1高效过滤器滤料或封胶头泄漏时，若单个漏洞处面积＜总面积的1%，可以用硅胶粘补。若单个漏洞面积超过总面积的1%，或全部泄漏处的面积超过总面积的5%时，则此高效过滤器必须更换。
8.2高效过滤器安装框架间存在泄漏，则由专业工程安装人员拆卸重新安装。若是框架本身质量存在缺陷，由采取相应措施解决之。
8.3整改完成后，重新测试，并根据测试数据对结果的符合性作出判断。
方案实施： 日期：
