8741 型必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 8741 型借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。
采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen
技术参数
额定流量范围 (Q额定)) 10 mlN/min 至 160 l
N/min (N2)
可调比 50:1，可选 100:1
工作介质 中性，未受到污染的气体，
根据要求可以使用其他介质
校准介质 工作气体或空气
大工作压力
（表压）
10 bar (145 psi)，对于 MFC，
高工作压力取决于阀门有效通径
介质温度 -10 °C 至 +70 °C
（-10 °C 至 +60 °C ，氧气）
环境温度 -10 °C 至 +50 °C （根据要求可以适用于更高的温度）
测量精度 ± 0.8 % o.R. ± 0.3 % F.S.
（1分钟预热时间后）
重复精度 ± 0.1 % F.S.
调节时间 (MFC) /
响应时间 (MFM) (t95%)
<300 ms
材料
主体
外壳
密封垫
铝或不锈钢
PC（聚碳酸酯）
FKM 或 EPDM（取决于气体）
管道接口 NPT ?， G ?，压力街头和底板连接，
根据要求可以使用其他方式
执行机构 （比例阀）
阀门标称直径
kVS值
无电流关闭
0.05…8 mm
0.00006…1.1 m3/h
工作电压 24 V DC
电压公差 ±10%
斜波率 ±2%
功率消耗1) 1…3 W （作为 MFM），
大3…12 W （作为 MFC，取决于比例阀型号）
技术参数
配置存储器
（包括在供货范围
内）
工业 ?SIM 卡用于轻松更换设备
防护等级 IP20
尺寸 参见图纸 5~8 页
总质量 约 500 g（铝主体）
安装位置 水平或竖直
发光二极管显示器 RGB-LED，依据 NAMUR NE107
电气接口 8741 标准型 8741 büS /CANopen
工业以太网 PROFINET，Ethernet/IP，
EtherCAT，Modbus-TCP
通过 2 个 RJ45 (Switch)1)
-
现场总线 - büS （基于 CAN
的总线）/ CANopen
通过接线端，4 针
模拟
输入端阻抗
大电流
（电压输出端）
大Bürde
（电流输出端）
4…20 mA，0…20 mA，
0…10 V 或 0…5 V 通过
D-Sub92) 或接线端，6 针
>20 kΩ（电压），
<300 Ω（电流）
10 mA
600 Ω
-
1) 通过单独接线端供电
2) 在 D-Sub9 模拟规格中，提供附加的数字输入端以及继电器输出端
技术参数， 续
气体 小Q额定
[IN/min]
大Q额定
[IN/min]
氩气 0,01 160
乙炔 0,01 65
氦气 0,01 1000
二氧化碳 0,02 80
空气 0,01 160
甲烷 0,01 160
丙烷 0,03 44
氧气 0,01 160
氮气 0,01 160
氢 0,01 1000
测量原理：
实际流量由传感器检测。这是根据热学原理进行测量的，该原理的优点是提供了不
依赖于压力和温度的质量流量测量。
主通道中的层流元件产生一个必要的压差，使小部分流量进入旁路通道。旁路管道
内壁上装有带膜的硅芯片，用于测量流量。采用MEMS传感器技术，在这块膜上有
一个加热电阻和两个对称的温度传感器（分别位于上游和下游）。如使加热电阻保
持在一个恒定温度，则两个温度传感器的电压差即可用于测量旁路通道中旁路通道
内流过芯片的气体的质量流量。
