氦氖激光器（Helium-neongaslaser）是研制成功的第一种气体激光器，也是常用的一种，通常在可见光频段（6328Å）工作，其他还有1.1523μm及3.3913μm，但不常用。功率一般约数毫瓦，连续发光。因为制造方便、较便宜、可靠，所以使用较多。由于单色性好，相干长度可达数十米以致数百米。
氦氖激光器的结构一般有三种形式：
①内腔式(结构如图1)。放电管与谐振腔固定在一起。
②外腔式。放电管与谐振腔*分开。
③半内腔(或半外腔)式。谐振腔中的一块反射镜与放电管固定在一起，另一块则与放电管分开。
放电毛细管内充以氦氖混合气体，其气压比为5∶1到10∶1，总压强为133.3～266.6帕(1～2毫米汞柱)。激光工作物质是氖，起受激辐射作用，氦为辅助气体，起传递能量作用。放电管的阳极一般用钨棒制成，阴极为铝或钼圆筒。
内腔式激光器使用方便，无需调整谐振腔，反射镜和放电管之间没有窗片相隔，光能损失少，但因放电使管受热变形导致激光输出下降，稳定性变差，且管长度越长，稳定性越差。
外腔式激光器放电管两端固定两块呈一特殊倾角的窗片。反射镜安装在窗片外，可进行调整以适应多种实验的要求。腔体受温度影响较小，输出的激光为线偏振光。缺点是使用不方便，窗片与轴线的夹角不易调准，影响输出功率。
半外腔式激光器综合上述两种结构的优点，是一种比较理想的激光器。氦氖激光器的输出功率和激光频率的稳定性容易控制，光束的单色性、相干性和方向性均好，器件寿命长，结构简单，价格较低，在工农业生产、科研和教学等方面的应用日趋广泛，尤其在精密计量、准直导向、流体的流速流量测量和全息照相等方面发挥着重要作用。
