氦氖激光器(Helium-neongaslaser)是研制成功的第一种气体激光器,也是常用的一种,通常在可见光频段(6328Å)工作,其他还有1.1523μm及3.3913μm,但不常用。功率一般约数毫瓦,连续发光。因为制造方便、较便宜、可靠,所以使用较多。由于单色性好,相干长度可达数十米以致数百米。
氦氖激光器的结构一般有三种形式:
①内腔式(结构如图1)。放电管与谐振腔固定在一起。
②外腔式。放电管与谐振腔*分开。
③半内腔(或半外腔)式。谐振腔中的一块反射镜与放电管固定在一起,另一块则与放电管分开。
放电毛细管内充以氦氖混合气体,其气压比为5∶1到10∶1,总压强为133.3~266.6帕(1~2毫米汞柱)。激光工作物质是氖,起受激辐射作用,氦为辅助气体,起传递能量作用。放电管的阳极一般用钨棒制成,阴极为铝或钼圆筒。
内腔式激光器使用方便,无需调整谐振腔,反射镜和放电管之间没有窗片相隔,光能损失少,但因放电使管受热变形导致激光输出下降,稳定性变差,且管长度越长,稳定性越差。
外腔式激光器放电管两端固定两块呈一特殊倾角的窗片。反射镜安装在窗片外,可进行调整以适应多种实验的要求。腔体受温度影响较小,输出的激光为线偏振光。缺点是使用不方便,窗片与轴线的夹角不易调准,影响输出功率。
半外腔式激光器综合上述两种结构的优点,是一种比较理想的激光器。氦氖激光器的输出功率和激光频率的稳定性容易控制,光束的单色性、相干性和方向性均好,器件寿命长,结构简单,价格较低,在工农业生产、科研和教学等方面的应用日趋广泛,尤其在精密计量、准直导向、流体的流速流量测量和全息照相等方面发挥着重要作用。