三坐标测量机又称为三坐标测量仪或三次元，是典型的机电一体化设备，它由机械系统和电子系统两大部分组成：
（1）机械系统：一般由三个正交的直线运动轴构成。X向导轨系统装在工作台上，移动桥架横梁是Y向导轨系统，Z向导轨系统装在中央滑架内。三个方向轴上均装有光栅尺用以度量各轴位移值。人工驱动的手轮及机动、数控驱动的电机一般都在各轴附近。用来触测被检测零件表面的测头装在Z轴端部。
（2）电子系统：一般由光栅计数系统、测头信号接口和计算机等组成，用于获得被测坐标点数据，并对数据进行处理。
三坐标测量机的操作使用说明：
1、首先是要查看零件图纸，了解测量的要求和方法，规划检测方案或调出检测程序。
2、吊装放置被测零件过程中，特别要注意遵守吊车安全的操作规程，保护不损坏测量机和零件，零件安放在方便检测、阿贝误差最小的位置并固定牢固。
3、按照测量方案安装探针及探针附件，要按下“紧急停”按钮在进行，并注意轻拿轻放，用力适当，更换后试运行时要注意试验一下测头保护功能是否正常。
4、实施测量过程中，操作人员要精力集中，运行程序时要注意减速运行，确定编程无误后再使用正常速度。
5、一旦有不正常情况，应立即按“紧急停”按钮，保护现场，查找出原因后，再继续运行或通知维修人员维修。
6、检测完成后，将测量程序和程序运行参数及测头配置等说明存档。
7、拆卸（更换）零件，清洁台面。
8、三坐标测量机在使用之后要进行适当的清理，后期保养也很重要。
