磁控溅射镀膜常见故障及解决办法
1.无法起辉
（1）直流电源故障，检查直流电源；
（2）氩气进气量小，检查氩气流量计或加大氩气进气量；
（3）真空室清洁度不够，清洁真空室；
（4）靶材绝缘度不够，检查靶是否与地短路，在通水的情况下，对地电阻应该在50kΩ以上；
（5）磁场强度不够，检查永磁体是否消磁；
（6）真空度太差，检查真空系统。
2.辉光不稳
（1）电压电流不稳，检查电源；
（2）真空室压力不稳，检查氩气进气量及真空系统；
（3）电缆故障，检查电缆是否连接良好。
3.成膜质量差
（1）基片表面清洁度差，清洁基片表面；
（2）真空室清洁度差，清洁真空室；
（3）基片温度过大或过小，检查温控系统，校准热电偶；
（4）真空室压力过大，检查真空系统；
（5）溅射功率设置不当，检查直流电源，设置何事的设定功率。
4.溅射速率低
（1）氩气进气量过大或过小，观察辉光颜色可以判定氩气是过大还是过小，据此调整氩气进气量；检修流量计；
（2）靶材过热，检查冷却水流量；
（3）检查永磁体是否消磁。
