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以辉光放电或高频放电（其它放电方式也 类同）产生低温等离子体时，首先是自由电子从 电场中获得能量，成为高能量电子，当这种高能 鼠电子与气体中的分子或原子碰撞时，如电子 的能量比分子或原子的激发能大，就可以产生 激发分子或激发原子、自由基、离子和各种能量 的辐射线等.这些不稳定的粒子和辐射线，将 通过不同的方式将其能量转移到置于系统中的 高分子材料表面，从而产生种种物理化学反应。

低温等离子体中的中性粒子，如原子、激发 态分子或原子等，将其平动能和振动能传给高 分子材料，使后者表面加热。而其离解能（自由 基）则通过在高分子材料表面进行的消除、加 成、氧化等化学反应而消耗掉，驾可以通过在固 体表面进行自由基复合而形成加热。激发态原 子，或是以辐射光量子的形式释放出原来吸收 的能量返回基态，或是过渡到具有io-*-10- 秒寿命的亚稳态，再与高分子材料表面作用，使 后者表面大分子产生自由基。

低温等离子体中的荷电粒子，主要是电子 和带正电荷的正离子，它们的浓度为10"cmT 左右，比中性粒子浓度要低得多。,具有较高动 能的电子轰击到材料表面，使其产生大分子自 由基。正离子的动能较低，但其携带的电能足 够高时，可使高分子材料表面由于电子转移，而 产生大分子离子。