离子束切割仪是一种用于物理学领域的工艺试验仪器，用于样品的截面制备及平面抛光。
设备利用三束离子束对样品进行快速切割和抛光，避免了机械切割研磨带来的样品表面微观损伤，可以获得高质量的原位微观形貌信息，为电镜观测提供真实可靠的样品制备。可用于样品的平面和截面抛光。适用于半导体材料、聚合物材料、金属等各种材料。
Leica EM TIC 3X 通过离子枪激发获得的离子束，以垂直于样品侧面纵向轰击样品，可获得高质量无应力“切割”截面，便于SEM观察。该处理方法适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度制备样品，并且操作简单，可有效避免涂抹效应，不需要大量摸索条件即可获得理想的截面，使样品暴露内部细微结构信息。
徕卡离子束切割仪主要技术参数：
•可容纳zui大样品尺寸50×50×10mm，可获得有效切割截面面积＞4mm×1mm
•三把离子枪，离子束能量1keV-10keV，切割速率300μm/h (Si@10kV, 3.5mA, 100μm切割高度)
•离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好
•可进行离子束切割或刻蚀，可选择任意离子枪
•真空泵解耦合设计，无震动传导
•触摸屏操作面板，直观、简易操作，可编程可软件升级
•可选配：液氮制冷冷台+30至 -160℃，25L液氮罐及自动泵，具有自动快速制冷功能
•可选配：三样品台，可一次连续处理三个样品
