3D光学干涉轮廓仪主要是用于产品微观形貌测量，主要是测微观粗糙度，精度一般是亚微米和纳级别的。是来测工件测长宽高尺寸、角度、直径、半径等参数，还可以进行一些形位公差的评定，精度都是微米级别的。主要用于零件轮廓尺寸测量，比如汽配行业、轴承行业、五金工具、机械加工、紧固件行业、轴承行业、模具行业等等。
下面就3D光学干涉轮廓仪的应用领域举例如下：
1、PDP测量
PDP是PlasmaDisplayPanel（等离子显示板）的省略词，是前面和背面玻璃及之间被隔断密封的玻璃之间注入Ne+Ar,Ne+Xe等气体后，正负电极输入电压，从而产生Ne光的电子显示装置。界壁(BarrierRib):Panel的Cell电气、光学、物理分割的隔离壁。
2、导电玻璃
ITO（导电玻璃）段差:ITO是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用溅射、蒸发等多种方法镀上一层氧化铟锡膜加工制作成的。根据高度决定电阻值不同，所以管理高度时使用。
3、印刷电路
印刷电子元件是根据现有印刷方式和印刷技术来制作电路或电子元件。在此根据测量印刷的Pattern来管理电子元件的电荷量。PET薄膜上印刷的电极层(Ag)的幅度及高度测量:：为了解高度对电荷量的关系。
4、Dot测量
利用喷嘴印刷形成pattern是显示器及半导体制造的现有技术之一。喷嘴喷射的Dot的模样及大小，是决定印刷pattern幅度及厚度的重要因素。对于排线制作，形成最佳形态的Dot是形成pattern是必要因素，因此用于测量管理。
5、显微透镜
直径在0.1至数毫米的显微透镜，用于光通信里激光和光纤维结合，或者用于复印机、传真机、内视镜等。
6、激光加工
部件的激光加工时根据加工条件的深度及形象测量，可确定加工机的加工条件环境。
