3D光学干涉轮廓仪是一种用于物理学领域的特种检测仪器，利用白光干涉测量技术，可为样品表面测量提供快速、便捷的非接触式地测量3D台阶高度，粗糙度和表面形貌。该技术采用优化聚焦和*算法，能以很快的速度构建3D图形表面。既能提供易于采集的高分辨率图像，又能提供可靠的测量数据。它特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。而其双重防撞保护措施能更好的保护仪器，确保精度的准确。
工作原理：
根据光波的干涉原理，仪器本身产生的可见光通过单色滤光片滤掉杂散光，变成了单一相位的光波，此光波通过扫描器扫描到被测量的光学材料上，与光学材料本身产生的光波发生了光波干涉，从而产生干涉条纹，两个光波的波面间也产生连续的相位变化，干涉标准镜和图像采集器将获取的干涉波的干涉条纹信号捕捉到后输入计算机，经专业软件将获取的数据进行处理和拟合，在计算机显示器上获得了模拟的图形，达到了光学材料的测量（弯度、平面、三维图像）其精度可达3.5纳米量级，扫描范围扩展到纵向20mm，且具有较高的自动化程度和目镜可以更换的人性化设计。
3D光学干涉轮廓仪其3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。
