美国MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处.美国MKS INSTRUMENTS电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术等改善了设备的完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能．
MKS 是先进生产工艺控制设备供应商之一， 其产品广泛地应用于各种半导体器件生产， 平板显示器， 光学储存介质， 玻璃镀膜， 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。 MKS 前瞻性的创新开发， 推动其产品一直处于技术地位。 MKS 的电源， 测量， 控制和复杂气体相关的工艺监控技术， 改善了设备完好率和产品成品率， 提高了生产产量和产品性能。
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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
真空计波尔登规（Bourdon）
波尔登规 如右图所示，细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。
这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。
