来了解MKS真空计925系列性能参数

来了解MKS真空计925系列性能参数
MKS 925系列真空计（MlcroPirani传感器）
925系列MlcroPirani（微皮拉尼）传感器是一个*的、基于MEMS的传感器，它是一种热导测量计。925 MlcroPirani常用于半导体设备及其它分析仪器中的真空压力测量。MlcroPirani传感器设计十分小型紧凑。其压力测量范围从常压至10-5Torr，比标准Pirani压力计低两个数量级。925具有数字或模拟通讯接口，925有三个设置点。
925系列真空计主要参数：
测量范围：1.0*10-5Torr至大气压
设定范围：5.0*10-4 Torr至500Torr
精度：5*10-4 至10-3Torr ±10%读数,10-3至100Torr ±5%读数,100Torr至大气压 ±25%读数
重复性：10-3至100 Torr ± 2%
电源要求：9 to 30 VDC,<1.5W

美国MKS 925系列真空计订购资料（订货号如925-11030）：