MFC稳定的流量控制技术：MFC对气体流量进行控制是基于流量计和比例阀在PID控制算法的作用下所实现。MFC所采用的PID算法一般具有动态调整功能，根据不同的工况进行动态调整，从而实现快速的流量切换（一般响应时间＜1s）以及设定的流量的稳定输出。下图为10L MFC的最大流量点多稳定性情况对比，以10SLM为例，本产品波动±13sccm， 三台竞品分别为±13sccm，±116sccm， ±19.5sccm。(数据由第三方MFM记录，黄线为我司产品）
图1.2 三款10L MFC在满量程点的波动对比
温补补偿技术研究：温度补偿（Temperature compensation)，大幅度温度变化会对传感器内部电阻、待测气体密度、气路结构等关键部件产生微弱影响，最终会导致3%左右到读数误差（温漂误差），如下图橙色线所示。在流量计和控制器设计中，采用全量程温度方法（不同流量，不同温度下逐一测试和温补），进行精确温度补偿，用于保证满量程范围内温漂误差控制在0.5%或1%以内，如下图蓝线所示。
图1.3 MFC-E 10L流量下的温度补偿效果测试数据
热式毛细管原理同类MFC产品是没有温度补偿这一道生产工序，其在流道进气口需加多层过滤网进行处理，MEMS先进气体流量测控技术在生产中加入了温度补偿工序，大大提高了产品稳定性及精度准确性。
流量计压损研究：流量计压损（Pressure loss）是流量计的关键指标之一，用于表中流量计输入和输出前后端的压力差，也是保证流量计正常工作的压力差。流量计压损一般随流量的增大而增大，同时受到解决方案的影响，基于MEMS（微机电系统）的流量计压损，远小于涡街流量计和差压式流量计。
图1.4 流量计压损测试数据
工作压力对波动的影响研究：MFC使用过程中的两端压力变化虽然不会导致精度偏差（质量流量不受影响），但会对气路稳定性产生影响。当工作压力变大的时候，MFC的波动将会大幅度增加，如下图所示。当压力在0-0.3MPa时，波动值小于0.2%，绝大部分情况小于0.1%。当压力大于0.4MPa时，波动可以达到0.6%以上。因此，MFC前后端压力差建议控制在0.3MPa以内。
图1.5 MFC-UT 100ml在不同工作压力下的波动
采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构 以及高精度数字控制电路和算法，实现宽温范围内的高精度、高稳定性、宽量程比控制。该产品配 备现场调试屏及独立供电接口，适配半导体行业。
图1.6 自主研发生产的MFC控制器产品
