高真空存杆仪可自由设置为原位样品台提供高真空存放环境，避免样品台受到污染，更可清洁样品台，尤其适用于原位样品台。方便研究人员对不同样品台的切换，触屏控制最多可实现10路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。
高真空存杆仪的结构介绍：
1.腔体靠近样品区的位置为可视化窗口设计，可直接观察样品杆上的样品、芯片等，方便操作。接口模块包含真空阀，用以在电源关闭时保持真空状态，或在取杆时实现气体快速通入，加速样品杆取出过程。高真空存杆腔体采用模块化设计，支持多个厂家样品杆，适用厂家包括：JEOL、FEI、Hitachi。
2.触屏控制界面，可以进行真空数据设定、读取及触控操作(HMI)，图形化界面清晰简洁、操作简便。
3.高真空自动控制系统，可以根据参数设置要求，自动控制分子泵的启动与停止，确保样品杆长期处于高真空状态。
4.内置高真空测量系统和高真空发生系统，其中测量系统包括真空度测量和分子泵转速测量，高真空发生系统包括真空管道、真空泵、真空阀、真空计等，为产品提供高真空存储环境。
