能谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy）简称能谱，用于样品微区元素的成分和含量分析，常与扫描电镜（SEM）或者透射电镜（TEM）搭配使用。
能谱分析的基本原理
从电子枪中发射出高能电子束撞击样品表面，与原子的内层电子发生非弹性散射作用时，使原子发生电离，从而使原子失去一个内层电子而变成离子，并在该电子层对应位置产生一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子就会填补到这个空穴，在填补过程中同时会产生具有特征能量的 X 射线，探测器接收到这些特征 X 射线后，经过分析处理转换最终得到谱图和分析数据输出。
当高能入射电子将原子的 K 层电子撞击出来时同时会形成一个空穴，原子为了恢复到稳定态，较外层的电子便会填充到 K 层的空穴中。如果是 L 层的电子填充 K 层的空穴，在此过程中会发射出 Kα 的 X 射线；如果是 M 层的电子填充 K 层的空穴，在此过程中会发射出 Kβ 的 X 射线；当入射电子将原子的 L 层电子撞击出来后，原子为了恢复到稳态，这时位于 L 层以外的电子就会填补到 L 层上的空穴，若 M 层电子填补到 L 层，则会发射出 Lα 的 X 射线。
布鲁克QUANTAX 能谱仪结合了较好的能量分辨率和 30 毫米更大的固体角度®活动区域芯片。这使得探测器对希望在EDS应用的整个谱图中使用探测器的分析中非常有吸引力，从轻元素分析到快速面扫描Mapping，以及EDS和EBSD测量的结合。X-Flash硅漂移探测器(SDD)与顶级的Hybrid 脉冲处理技术相结合能获得较佳的能量分辨率和比常规Si(Li)探测器快十倍的测量速度。
布鲁克QUANTAX 能谱仪配有界面友好、功能强大的ESPRIT软件。该软件标配中、英文界面。应用该软件可进行无标样定量分析，和有标准定量分析，或二种方法结合使用。另外，还可进行点、线、面分析，线扫描，面分布，超级面分布，相分析，颗粒分析，钢铁分析，枪击残留物分析等等。
