作为一个做微纳的研究狗，感觉老婆太大了，看不到微米尺度！先说主要问题。
如果类似手机膜的物体厚度近百微米甚至几百微米，请直接用螺旋千分尺测量，俗称千分尺，就是下图的仪器。可以达到10μm m的测量精度，日常估计手机贴膜就够了。如果薄膜厚度为几微米或更小，普通的机械测量装置将不起作用。在科学研究中，针对不同的胶片，有多种测量方法。让我们举几个例子。
1.椭偏仪。这是一种非接触式光学测量仪，下图中对称的就是椭偏仪。这个仪器有两个臂，一个是发光臂，可以发出一定带宽的光(比如从近紫外到近红外)，另一个是接收臂，严格对称。通过测量波长和偏振态，可以同时获得包括薄膜厚度在内的许多参数。而且只要是薄膜，不管是金属材料还是玻璃等介质，理论上都可以用这个仪器测量。可以从纳米尺度测量到微米尺度(甚至更厚，但不是必须的)。如果是普通材料，精度往往很高。
2.台阶仪还有一个测量薄膜厚度的利器，叫做台阶仪，就是下图的仪器。它的原理是用一根细小的触针在被测表面上轻轻滑动，并记录下轨迹，这样你就可以自然地得到物体表面的起伏信息。如果是在膜的边缘测量，可以记录下膜面到没有膜的位置的高度差，自然可以得到膜的厚度。一般测量几十纳米到微米的薄膜是没有问题的。
3.原子力显微镜(AFM)原子力显微镜其实和步米的原理差不多，只不过使用的探头比步米的小，测量精度更高，理论上可以达到纳米级。通过阵列扫描，可以获得薄膜表面的起伏信息，所以一般用AFM来测量表面粗糙度，这是一个较小的量。当然，如果薄膜厚度超薄，也可以在薄膜边缘获得厚度信息。下图中AFM获得的表面形貌示例。其实“薄膜”是一个相当大的学科，发展起来的技术和理论很多，我只接触过几个。所以这里说的方法只是表面的，希望对题主有所帮助。
