小型蒸镀仪体积小，功能齐全，但它配备了电压和电流反馈、样品台旋转、样品高度调节和电动挡板功能。通过定期调节预热功率和蒸发功率，大多数金属可以均匀地蒸发和沉积。真空室由透明石英玻璃制成，以减少样品污染。可以旋转样品台以获得更均匀的膜，并且可以制备各种金属膜和有机膜。
小型蒸镀仪工作包括以下基本工艺：
1、加热蒸发过程：包括从冷凝相变成气相的过程。每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸汽压。
2、气态原子或分子在蒸发源和基底之间的传输是原子或分子于环境大气中的飞行过程。
3、蒸发原子或分子在基材表面的沉积。即蒸发、冷凝、成核、成核和生长以形成连续膜。因为衬底的温度远低于蒸发源的温度，所以气体分子的相变过程将直接在衬底表面从气态到固态发生。
小型蒸镀仪实验步骤：
1、将待溅射的基材放入蒸发和电镀仪器的腔室中。
2、根据蒸发和电镀所需的材料选择金属蒸发头/钨篮或碳蒸发头，并根据仪器操作规则程序安装蒸发和电镀需要的材料。当使用碳棒蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑洞，一根导线连接到红孔；当使用金属蒸发头时，一根电极线连接到仪器背面的黑洞，一根导线连接到绿洞。
3、根据仪器的操作规则逐步操作仪器，实验结束时取出样品。由于长时间使用后，燃烧室周围沉积了厚厚的涂层，因此应根据实际情况及时清洁燃烧室。但是，不允许使用丙酮和乙醇等有机试剂清洁橡胶圈，以避免老化导致的空气泄漏。关闭主机电源和原点，切断仪器的主电源并盖住仪器。
