一、纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。该技术通过机械转移的手段,达到了超高的分辨率,有望在未来取代传统光刻技术,成为微电子、材料领域的重要加工手段。
二、纳米压印技术,是通过光刻胶辅助,将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。报道的加工精度已经达到2纳米,超过了传统光刻技术达到的分辨率。这项技术最初由美国普林斯顿大学的Stephen.Y.Chou(周郁)教授在20世纪90年代中期发明。
三、作用过程:
第一步是模板的加工。一般使用电子束刻蚀等手段,在硅或其他衬底上加工出所需要的结构作为模板。由于电子的衍射极限远小于光子,因此可以达到远高于光刻的分辨率。
第二步是图样的转移。在待加工的材料表面涂上光刻胶,然后将模板压在其表面,采用加压的方式使图案转移到光刻胶上。注意光刻胶不能被全部去除,防止模板与材料直接接触,损坏模板。
第三步是衬底的加工。用紫外光使光刻胶固化,移开模板后,用刻蚀液将上一步未去除的光刻胶刻蚀掉,露出待加工材料表面,然后使用化学刻蚀的方法进行加工,完成后去除全部光刻胶,最终得到高精度加工的材料。
四、而模板的选择也更加多样化。原来的刚性模板虽然能获得较高的加工精度,但仅能应用于平面加工。研究者们提出了使用弹性模量较高的PDMS作为模板材料,开发了软压印技术。这种柔性材料制成的模板能够贴合不同形貌的表面,使得加工不再局限于平面,对颗粒、褶皱等影响加工质量的因素也有了更好的容忍度。