冷场发射扫描电镜(SEM)具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。冷场发射扫描电镜(SEM)利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感很强的样品表面超微形貌结构信息。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
冷场发射扫描电镜的主要优势就是分辨率高，尤其是低加速电压下的分辨率更是远远超过钨灯丝电镜。因此更适合于进行真实的表面分析，特别是薄膜样品。
冷场发射扫描电镜(SEM)对样品要求：
样品形态：送检样品必须为干燥固体、块状、片状、纤维状及粉末状均可
样品尺寸：样品高度小于15mm，直径小于30mm
特殊要求：样品应具有导电性。若样品不导电，需要进行喷金、碳等导电膜的处理；样品中含有铁（Fe）、钴(Co)、镍(Ni)，需要在委托测试单中重点标识，进行特殊处理；样品中不得含有水分，多孔类或易潮解的样品，请提前真空干燥处理。
