在线质谱仪是一种用于物理学、地球科学、生物学领域的分析仪器。在线质谱仪应用于工业流程进行过程分析，一般都是定量分析，而且都是多道的。多道质谱仪加速电压固定，在离子分离器离子出射端设多个出射狭缝，每个狭缝对应一个质荷比，用于检测气体试样中一种组分的含量。它可对工业流程中的气体或蒸汽进行定性、定量实时检测。它的特点是分析速度快，精密度高，可同时进行多组分分析。
主要功能
高灵敏度，高分辨率和灵活性的设计，能满足各种研究型实验室。在线质谱仪能够实时监测在发酵过程中产生的尾气，反应其中组分成分以及浓度变化，在制药工业，环境空气监测等领域也有应用。
在线质谱仪分析速度很快，只要几秒到20多秒就能对一种气流进行**分析。乙烯本身是易燃、易爆的可燃气体，将乙烯与一定浓度的氧气和其他烃类进行氧化又是放热反应，更增加了生产的危险性。工艺人员要求及时正确地计算允许乙烯、氧气和其他烃类或惰性物质的混合物的可燃性极限，以及允许的*大氧浓度，这种计算的主要依据是应用在线质谱仪对反应进行实时的全组分分析测量的数据。
质谱分析法主要是通过对样品的离子的质荷比的分析而实现对样品进行定性和定量的一种方法。因此，质谱仪都必须有电离装置把样品电离为离子，有质量分析装置把不同质荷比的离子分开,经检测器检测之后可以得到样品的质谱图，由于有机样品,无机样品和同位素样品等具有不同形态、性质和不同的分析要求,所以，所用的电离装置、质量分析装置和检测装置有所不同。但是，不管是哪种类型的质谱仪，其基本组成是相同的。都包括离子源、质量分析器、检测器和真空系统。 
