精密真空蒸发镀膜机本产品适用于高等院校、科研单位、研究所和*企业进行各种材料表面精密镀膜的研发,试样和小批量重复性制备。
特点:
1、集成度高:整套设备集成一级,二级真空泵,冷却水循环,内嵌一体化彩色触摸屏,触摸控制不同真空泵阀门的通断,不同蒸发舟的电流大小。节省实验室空间。
2、实时监控:腔内配有自主研发的精密压电陶瓷膜厚探头,实时监控镀膜表面的膜厚,检测精度可达1埃/秒(0.1nm/s)。
3、多源蒸镀:配有三组蒸发源,蒸发隔板,支持在真空中切换蒸发源,实现不同蒸发源多层蒸镀;支持钼,钨蒸发舟。
真空蒸发镀膜机安全操作注意事项:
1、真空电镀机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;
2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;
3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;
4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;
5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;
6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;