D400/M400 精密真空蒸发镀膜机
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生产厂家阳明量子科技致力于量子点纳米材料、量子点光电转换器件、半导体领域镀膜与表面处理设备的开发和生产。现在的产品包括涵盖紫外-可见光-近红外波段的不同类型的胶体量子点材料,并已实现中试化放大生产,可满足不同需求客户的定制需求;一体化液晶显示触屏控制的等离子清洗机, 具有自主知识产权,精密监控膜厚的真空镀膜机等设备,并且可以为客户的研发与工业生产提供定制,满足客户前沿研发和商业化的专业需求。
本产品适用于高等院校、科研单位、研究所和*企业进行各种材料表面精密镀膜的研发,试样和小批量重复性制备。
一.集成度高:整套设备集成一级,二级真空泵,冷却水循环,内嵌一体化彩色触摸屏,触摸控制不同真空泵阀门的通断,不同蒸发舟的电流大小。节省实验室空间。
二.实时监控:腔内配有自主研发的精密压电陶瓷膜厚探头,实时监控镀膜表面的膜厚,检测精度可达1埃/秒(0.1nm/s)
三.多源蒸镀:配有三组蒸发源,蒸发隔板,支持在真空中切换蒸发源,实现不同蒸发源多层蒸镀;支持钼,钨蒸发舟。
产地类别 | 国产 |
价格区间 | 10万-30万 |
应用领域 | 环保,能源,电子 |
真空腔体 | 420×400×450mm |
精密膜厚探头 | 1套,内嵌式液晶显示屏实时显示膜厚和蒸镀速率 |
蒸发源 | 3组电阻式热蒸发源 |
真空泵 | 一级:机械泵一套,二级:扩散泵一套 |
真空规 | 电阻规一套,电离规一套,数字显示 |
内嵌液晶触摸屏 | 数字控制真空泵开关,各路真空阀门开关,蒸发源工作电流等参数 |
冷却水循环机 | 一套,风冷,无外接水源 |
样品托盘 | 可旋转,转速0~100rpm可调?内尺寸102*100*5m |
掩膜板区域 | 97±3*100mm蒸发镀膜区92*100mm |
蒸发源挡板? | 可真空状态操作,Φ70mm |
外部尺寸? | 长840*宽478*高1514mm?主机底部配4滚轮 |
工作电源 | 220V,?50/60Hz |
工作环境 | 0~50℃ |
总功率 | 1500W |
总重量 | 270KG |