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参考价:¥320000350000

D400/M400 精密真空蒸发镀膜机

型号
D400/M400
规格
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参数
产地类别:国产 价格区间:10万-30万 应用领域:环保,能源,电子 真空腔体:420×400×450mm 精密膜厚探头:1套,内嵌式液晶显示屏实时显示膜厚和蒸镀速率 蒸发源:3组电阻式热蒸发源 真空泵:一级:机械泵一套,二级:扩散泵一套 真空规:电阻规一套,电离规一套,数字显示 内嵌液晶触摸屏:数字控制真空泵开关,各路真空阀门开关,蒸发源工作电流等参数 冷却水循环机:一套,风冷,无外接水源 样品托盘:可旋转,转速0~100rpm可调?内尺寸102*100*5m 掩膜板区域:97±3*100mm蒸发镀膜区92*100mm 蒸发源挡板?:可真空状态操作,Φ70mm 外部尺寸?:长840*宽478*高1514mm?主机底部配4滚轮 工作电源:220V,?50/60Hz 工作环境:0~50℃ 总功率:1500W 总重量:270KG
阳明量子科技(深圳)有限公司

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阳明量子科技致力于量子点纳米材料、量子点光电转换器件、半导体领域镀膜与表面处理设备的开发和生产。现在的产品包括涵盖紫外-可见光-近红外波段的不同类型的胶体量子点材料,并已实现中试化放大生产,可满足不同需求客户的定制需求;一体化液晶显示触屏控制的等离子清洗机, 具有自主知识产权,精密监控膜厚的真空镀膜机等设备,并且可以为客户的研发与工业生产提供定制,满足客户前沿研发和商业化的专业需求。



详细信息

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本产品适用于高等院校、科研单位、研究所和*企业进行各种材料表面精密镀膜的研发,试样和小批量重复性制备。


一.集成度高:整套设备集成一级,二级真空泵,冷却水循环,内嵌一体化彩色触摸屏,触摸控制不同真空泵阀门的通断,不同蒸发舟的电流大小。节省实验室空间。

二.实时监控:腔内配有自主研发的精密压电陶瓷膜厚探头,实时监控镀膜表面的膜厚,检测精度可达1埃/秒(0.1nm/s)

三.多源蒸镀:配有三组蒸发源,蒸发隔板,支持在真空中切换蒸发源,实现不同蒸发源多层蒸镀;支持钼,钨蒸发舟。



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产品参数

产地类别 国产
价格区间 10万-30万
应用领域 环保,能源,电子
真空腔体 420×400×450mm
精密膜厚探头 1套,内嵌式液晶显示屏实时显示膜厚和蒸镀速率
蒸发源 3组电阻式热蒸发源
真空泵 一级:机械泵一套,二级:扩散泵一套
真空规 电阻规一套,电离规一套,数字显示
内嵌液晶触摸屏 数字控制真空泵开关,各路真空阀门开关,蒸发源工作电流等参数
冷却水循环机 一套,风冷,无外接水源
样品托盘 可旋转,转速0~100rpm可调?内尺寸102*100*5m
掩膜板区域 97±3*100mm蒸发镀膜区92*100mm
蒸发源挡板? 可真空状态操作,Φ70mm
外部尺寸? 长840*宽478*高1514mm?主机底部配4滚轮
工作电源 220V,?50/60Hz
工作环境 0~50℃
总功率 1500W
总重量 270KG

规格类型

D400 320000元 9999台可售
M400 350000元 9999台可售
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