冷场发射扫描电镜是一种用于材料科学、化学领域的分析仪器，超显微、形貌与成份分析相结合。
日立冷场发射扫描电镜主要用于观察材料表面的微观形貌、断口及内部组织,并对材料表面微区成分进行定性和定量分析。常用于陶瓷分子矿物、纤维、生物等无机或有机固体材料表面及断面形貌观察、元素分析,金属材料相分析、成分分析和夹杂物形态鉴定。该仪器可高分辨率观察样品表面超微结构,尤其对生物等不导电样品,无需镀膜即可实现高保真观察。
仪器具有高分辨率、高反差、高灵敏，配置能谱、真空转移、高真空离子溅射仪。满足广大用户对扫描电镜的使用需求，大景深图像扫描、提高能谱采集效率、实现有效检测易与空气发生作用的活泼样品。对材料进行纳米尺度的形貌观察和成分分析。
主要特点有：
1.配备加速电压减速功能，优良的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm；
2.日立E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品；
3.配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
4.SE与BSE任意比例搭配功能。
