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高温蒸镀的时候,靶材和坩埚应该怎么选择
蒸镀 镀铝 建议客户用陶瓷坩埚 :用钨舟的话容易附着上边 且铝融化后有一定的浸润 会与钨舟形成合金 钨舟容易脆裂 断开,铝极易氧化 可以多抽一会真空 真空度越低 效果越好
蒸镀 镀镍 建议客户用钨棒惨绕镍丝,钨舟很薄 在一定温度下化合生成合金相加速钨的断裂 解决方案:用1.5-2mm的钨棒 长度 95-100 中间 10mm处绕高纯镍丝( 缠绕紧密一些 可惨绕2层)
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