真空计的类别
真空镀膜机中使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计和电离真空计。以下是对这些真空计的工作原理和特点的简要介绍：
电阻真空计
电阻真空计是一种热传导真空计，通过测量热丝的温度来间接获得真空度的大小。它利用低压下气体的热传导与压强相关的原理。电阻真空计的结构包括一个加热灯丝（通常使用钨丝或铂丝）和一个电阻温度系数较大的热丝。在恒定的加热电流条件下，当真空系统的压强降低时，热丝的电阻值增大，从而可以间接确定压强的大小。
热偶真空计
热偶真空计的规管由加热灯丝和热电偶组成。热电偶通常由铂铑或康铜-镍铬制成。热偶真空计利用热电偶的温度变化来测量压强的变化。当气体的压强降低时，热电偶接点的温度随热丝温度的升高而增大，从而热电偶的电动势也增大。通过测量热电偶的电动势变化，可以间接确定真空度的大小。
电离真空计
电离真空计是目前广泛使用的真空测量计，利用气体分子电离的原理进行真空度测量。根据气体电离源的不同，电离真空计分为热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。热阴极电离真空计包括普通型、超高真空型和低真空型。电离真空计的工作原理是通过发射极发射电子，经过加速极加速并收集电子，电子在加速极和收集极之间反复运动，并与气体分子发生碰撞，使气体分子电离产生正离子。通过测量正离子的电流大小，可以确定真空室中的气体压强。
对于真空镀膜机而言，采用电离真空计可以快速连续地测量待测气体的总压强，而且电离计规管体积小、易于连接。然而，需要注意的是，在高于10-1Pa的高压强下使用电离计会降低规管寿命甚至导致损坏，因此应避免在高压强下工作。此外，当真空系统暴露于大气环境或使用一段时间后，电离计规管的内表面和电极可能会吸附气体，影响真空测量的准确性，因此需要定期进行规管的除气处理。
在真空镀膜领域，青岛芯笙自主研发的V100系列电容式陶瓷薄膜真空计发挥着重要作用。
V100系列产品是基于德国E+H进口陶瓷传感器芯片开发的一款高精度电容式真空计/薄膜真空规,采用陶瓷电容薄膜片,防腐蚀超纯陶瓷传感器由99.9% 超高纯度AL203 氧化铝陶瓷材质制成。可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。基于膜片与固定电极之间的电容变化测量压力大小。具有响应快速,抗过载能力强,量程宽,精度高等特点。可用于光伏、真空镀膜、MPCVD、半导体等领域。青岛芯笙自研的V100系列产品无疑是业界的选择。
