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晶振片故障现象、原因及解决办法
郑州科探仪器设备有限公司
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2024/1/16 14:25:48
探头故障现象、原因及排除方法
1、沉积期间厚度读数大跳变
a. 不良晶片产生 解决方案:更换晶片
b. 晶片接近其使用寿命 解决方案:更换晶片
c. 晶片支承座表面有杂物 解决方案:用酒精或细砂皮清洗支承座
d. 来自溅射源的频率干涉 解决方案: 检查接地,仪器远离溅射源
2、沉积期间晶体停振,但晶片寿命未到
a. 晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击 解决方案:镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开
b. 不良晶片 解决方案: 更换晶片
c. 晶片支承座内腔表面有杂质 解决方案:清洗
3、晶体在真空中振荡,单暴露空气后停振
a.晶体接近使用寿命,暴露空气导致薄膜氧化而引起薄膜压力增加 解决方案: 更换晶片
b. 晶片积累了过多水分 解决方案:暴露空气之前关掉探头冷却水