电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)是测定超痕量元素和同位素比值的仪器。由等离子发生器，雾化室，炬管，四极质谱仪和一个快速通道子倍增管组成。
在ICP-MS中，ICP起到离子源的作用，ICP利用在电感线圈上施加的强大功率的射频信号，在线圈包围区域形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离。被分析物由蠕动泵送入雾化器形成气溶胶，再由载气(Ar)带入等离子体(ICP)炬焰中，发生蒸发、分解、激发和电离，形成离子流，通过接口进入真空系统，在离子镜中，负离子、中性粒子以及光子被拦截，仅有带电的正离子通过，并且达到聚焦的效果。在分析器中，电感耦合等离子体质谱仪通过改变分析器参数的设置，选择不同质荷比的离子通过并到达检测器中，进而检测器对离子个数进行计数，得到某个离子的强度，而离子强度与被分析元素的浓度成正比，从而计算出该元素的含量。
该产品广泛应用于化学、化工、环境、生物、食品、地矿、卫生、电子、材料、机械、等领域痕量和微量元素的含量测定。
