- 进样系统:该系统负责将样品引入ICP-MS仪器中,包括导管、蠕动泵、雾化器以及雾室。样品通常以溶液形式,通过蠕动泵送入雾化器转化为气溶胶状态,然后被引入到ICP的中心。雾化器产生的气溶胶通过雾化室向等离子体炬传递,雾化室的作用是滤去大的雾粒,保持稳定的细小雾粒的气溶胶流。
- 离子源:主要由矩管和RF线圈组成,是产生高温等离子体的地方。在ICP系统中,通过射频能量激发氩气产生等离子体,形成高温环境(约6000~10000K),使样品中的元素电离。
- 接口系统:是ICP离子源与质谱仪的连接装置,负责将等离子体中的离子有效传出到质谱仪。它主要由两个(或三个)同轴放置的圆锥体所组成,直接与等离子体焰炬接触的称为采样锥(或提取锥),在采样锥后几毫米处,同轴放置的第二个锥称为截取锥。
- 离子聚焦透镜系统:位于截取锥之后,功能是把离子流聚焦成散角尽量小的很细的离子束,然后传输到质量分析器。
- 质量分析器:是ICP-MS的核心部件,负责根据离子的质荷比(m/z)进行分离和检测。常用的质量分析器包括四级杆、离子阱、飞行时间质谱、磁质谱等。
- 真空系统:用于维持质谱仪所需的高真空环境,以确保离子在运动中不产生不应有的碰撞。
此外,ICP-MS仪器通常还配备有数据处理系统、冷却系统、气体系统和检测器等辅助部件,以及用户友好的软件,用于控制仪器操作、数据处理和报告生成。