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Sensofar共聚焦白光干涉仪 | 光谱反射技术

光谱反射能快速、精确、无损地测量薄膜，且无需制备任何样本。

背景

薄膜

透明层沉积在表面上时，其反射率会变化。该系统获取可见范围内样本的反射光谱，并与软件计算的模拟光谱进行比较，对层厚进行修改，直到找到匹配的厚度。对于薄膜，厚度与光波长类似，我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。

主要特征

从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜可在不到 5 秒的时间内测得

   从 50 nm 到 1.5 μm 厚的透明薄膜

   不到 5 秒内采集

   一个物镜可覆盖 整个 范围

   不同光斑大小 (3.5 μm 到 40 μm) 

光谱反射系统