工业显微镜是在制造半导体、电子元件、液晶显示器等时用于过程检查和分析的显微镜。
为了便于数据分析，大多数工业显微镜都设计为允许将数码相机或 CCD 中的图像传输到计算机。
工业显微镜用于半导体、电子元件等工业产品的制造过程检查和分析。最常见的工业显微镜是金相显微镜，它照射光并利用反射光观察表面。
金相显微镜用于观察不透明工业产品的表面，例如陶瓷结构、金属和合金、零件的抛光表面以及电子元件。此外，它还用于磁头、液晶和薄膜等产品制造过程中的开发、分析和检查。
还可以观察电路板上的焊点表面和焊缝熔深深度等细节。也用于金属加工中铸造、热处理、冶金后的评价和分析。
常用作工业显微镜的金相显微镜包括从上方观察样品的正置显微镜和从下方观察样品的倒置显微镜。正置显微镜是一种常见的显微镜。将样品放置在物镜下方并从物镜上方观察。使用倒置显微镜时，物镜的端朝上，使您可以从下方观察样品。
在正置和倒置显微镜中，光源都位于物镜内部。该光源用光照射样品表面，并且利用来自样品表面的反射光来观察样品表面的形状。物镜和目镜之间夹有棱镜或透镜，放大并观察从物镜照射到样品上并反射的光。放大倍数约为 50 倍至 1,000 倍。
用作工业显微镜的金相显微镜有多种型号，具有多种功能，并且许多型号能够使用反射照明的明场法、暗场法和微分干涉法。在使用反射照明的暗场方法中，可以看到闪亮的细小划痕、裂纹、气孔等，使其适合观察样品表面。使用反射辐射的微分干涉测量法可以检测使用明场方法难以检测的细微不规则性，并且经常用于检查过程。
如上所述，工业显微镜包括正置显微镜和倒置显微镜。
一般来说，许多正置显微镜允许您根据照明方式选择透射或反射，其优点是光学系统易于设计。
倒置显微镜将观察面朝下放置，易于使观察面相对于光轴保持水平，常用于冶金领域。
