蒸发镀膜仪的真空腔室为蒸发过程提供必要的真空环境，以确保膜材料的粒子能够在没有空气干扰的情况下飞至基片表面；真空抽气泵组用于抽出腔室内的气体，保持高真空状态，这对于蒸发过程至关重要；基片及基片架用于固定和支撑待镀膜的基片，确保膜材料能够均匀地沉积在基片上。
监测装置用于实时监控镀膜过程中的各种参数，如膜厚、速率等，以保证镀膜质量；水冷系统用于冷却腔室内的某些部件，防止在高温蒸发过程中过热，保护设备的稳定性和使用寿命；它负责加热膜材料并使其蒸发气化。蒸发源的设计和加热方式直接影响到膜材料的蒸发效率和膜层的质量和性能；随着技术的发展，加热膜材料的方式也在不断改进，从早期的电阻式加热发展到电子束加热、激光束加热、感应加热等新方式。
蒸发镀膜仪的维护保养方法：
-内部外部清洁：定期对内部和外部进行清洁，去除灰尘和残留物，避免影响设备性能。
-纯水和滤网更换：定期更换纯水并检查滤网，保证设备的冷却系统和过滤系统正常工作。
-气体泵和阀口清理：定期清理或更换气体泵、阀口及传感器等部件，防止因杂质堵塞而影响设备运转。
-冷却水流通检查：定期检查冷却水是否正常流通，确保设备不会因过热而损坏。
-真空泵和管路检查：定期检查真空泵和气体输出管路，确保其正常运转，及时更换损坏的管路。
-泄漏检查：定期检查设备是否有泄漏的危险，确保设备的安全运行。
-严格按要求操作：严格按照设备要求进行停机和启动操作，避免不当操作对设备造成损害。
-不轻易启动设备：在没有准备的情况下，不得轻易启动设备，以免造成不必要的机械磨损或事故。
-使用饱和烧碱溶液擦洗：每完成一定数量的镀膜工序后，应使用饱和烧碱(NaOH)溶液清洗工作间，以去除附着的铝等涂膜材料。
