EDX（Energy Dispersive Spectrometry）即能量色散 X 射线荧光光谱分析仪采用的 X 射线荧光光谱分析原理。X 射线荧光分析原理：当样品中元素的原子收到高能 X 射线照射时，即发射出具有一定波长的特征 X 射谱线。特征谱线的波长与元素的原子序数（Z）有关，而与激发 X 射线的能量无关。所以测定谱线的波长，就可知道试样中含有什么元素（即定性分析）；测量谱线的强度，就可知该元素的具体含量（即定量分析）。仪器工作原理：仪器高压电源给光管提供管压和管流，光管激发出连续的 X射线荧光光谱线（即原级 X 射线），原级 X 射线照射到样品上，样品产生具有样品特征的 X 荧光谱线，经过探测器后变成电压信号，信号经过放大和数据采集后传送给计算机，经软件处理后终获样品的测量结果。
江苏天瑞仪器股份有限公司是一家从事分析测试仪器研发、生产、销售的guo ji化高科技企业，产品主要包括光谱、色谱、质谱等。针对 EDX 2000A 在镀层等广泛应用，根据优化产品性能和提高需求，特别设计该款 EDX 2000A。该款仪器聚焦效果好，自动化的 X 轴 Y 轴 Z轴的联动装置，实现对平面、凹凸、台阶、弧面等各种形态的样品进行快速对焦，分析。
产品名称：X射线镀层测厚仪
产品型号：EDX2000A
（1）外形尺寸：485（W）×588（D）×505（H）mm
样品腔尺寸：430（W）×400（D）×140（H）mm
（2）重量 60kg
（3）X 射线源：
X 射线管：W 靶材
X 射线管电压： 5——50KV，可调
X 射线管电流: 50uA——1mA，可调
X 射线管制冷： 密闭型风冷
（4）准直系统：标配￠0.3mm(可根据要求选配)
（5）滤光片：Al 滤光片(可根据要求选配)
（6）X 射线检测： FSDD 探测器
（7）样品观测配置
样品照明： LED 灯，上方垂直环绕照射
观察：彩色 CCD 变焦工业摄像头
倍率：15-25 倍
视野：6 X 4.8mm
变焦：0-40mm
（8）Z 轴调节：图像识别功能7高度激光对焦
（9）电动 XY 高jing度移动平台
样品台尺寸： 320（W）× 265（D）mm
移动范围：100mm(X) × 100mm(Y)
分辨率：5um
重复定位jing度： ＜10um
步进电机步距角： 1.8°
载重量：3 kg（无倾斜）
（10）Z 轴升降平台：
升降幅度范围：0—140mm
（11）an quan bao hu 操作人员在未关高压的情况下打开屏蔽罩仪器会自动断高压。
（12）数据采集4096 道细分数据采集
（13）X 射线管工作情况监测系统软件画面显示当前的管压，管流，元素峰通道，记数率等。
(14) 电源：电源输入：AC220±10%，5A，50/60HZ
特别性能
? 上照式：各种形状样品都可测试
? 高分辨率探头：提高分析的性
? an quan 性：新一代光管良好的屏蔽作用，X 射线的辐射基本为 0；仪器上盖的测试自锁和高压电源紧急锁功能
? 测试组件可升降，激光测距系统，满足不同高度样品的非接触式测试
? gao jing 度移动平台，支持智能定位测试，多点测试和网格测试模式
? 较小准直器
? 可视化操作
? 智能的 Fp 测试软件，不需要标准样品，即可以实现多种制程的测试
? 相互du li 的基体效应校正模型
? 一键测试按钮
? 鼠标定位测试点
? 大样品腔设计
? 测试口an quan fang hu
? 智能防撞系统
技术指标
? 元素分析范围从铝(Al)到铀(U)
? 可同时分析 24 个元素，5 层镀层
? 仪器检出限：0.005um
? 镀层厚镀范围：0.005um—50um
? 多次测量重复性: 2%
? 工作稳定度为 3%
（注：多次重复性实验和稳定性实验是在准直器?0.5mm 的条件下测试的，除小于0.1um 较薄镀层大多数情况下 man zu 以上标准，RSD 为相对标准偏差）
应用领域:
? 金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量
? 金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试
? 电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析
? 首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业
