测量显微镜是一种尺寸测量装置，可根据使用显微镜放大和观察的图像来测量尺寸。
它结合了具有精确放大倍率的光学显微镜、用于比较测量的模板以及用于在平面上精确移动测量工件的XY 平台。使用测量显微镜可以进行非接触式测量，从而可以在不损坏工件的情况下观察轮廓和表面。
测量显微镜通常使用远心光学系统。近年来，一些型号在光学头中采用了无限远校正光学系统，可以进行微分干涉观察和简单的偏振观察。
测量显微镜用于相对较小的机械零件、电子设备零件和半导体产品的生产和质量控制。该测量装置适用于测量小零件和不使用显微镜放大难以测量的详细零件。
除了测量尺寸外，它还可以用于使用偏振光和微分干涉进行观察，例如检测半导体基板上的划痕。由于放大倍数的准确性，通过使用模板进行比较测量来确定产品是否在公差范围内，对于简单的检查也很有用。
测量显微镜既可以用作测量装置，也可以用作显微镜，并且一台装置可以用于多种用途。
测量显微镜可按照明方式分类。
透射照明是透射照明的一种，它允许光线穿过以捕捉物体的轮廓并测量其尺寸。用于测量轮廓。
垂直反射光将光垂直照射到物体表面，并利用反射光观察表面。垂直反射照明不仅可以测量尺寸，还可以观察表面形状。
斜反射照明是一种将光线倾斜地照射到被测物体表面的照明方法。其特点是强调图像的对比度，因此可以获得三维且清晰的图像。然而，测量尺寸时可能会出现错误。
大多数测量显微镜采用远心光学器件进行透射照明。不使用远心光学系统的显微镜会使附近的物体显得更大而远处的物体显得更小。
这种现象与我们日常使用的相机是一样的。然而，这一特性意味着在测量尺寸时，距离较远的零件会比高度方向不同的零件测量得更小。
对于使用远心光学系统的镜头，即使到镜头的距离或焦点在光轴方向上移动，图像的尺寸也不会改变，即使它变得模糊。对于在用显微镜观察的同时测量尺寸的尺寸测量显微镜来说，远心光学系统是 的。
测量显微镜通过将物体放置在 XY 平台上来测量物体。因此，测量点可以位于 XY 平台操作范围内的任何位置。换句话说，无论待测物体位于XY平台上的哪个位置，您只需将XY平台移动到测量点即可进行测量。
有些待测量的角度和圆直径可能需要 XY 平台的较大移动，但如果不进行特殊调整，待测物体的轮廓永远不会与 XY 平台的移动平行。因此，在测量前，需要使XY平台的移动与被测物体的参考边缘平行。
另外，如果被测物体与XY平台不平行，在测量角度和平行度时会出现较大误差。因此，需要进行计算来修正测量结果。近年来，制造商推出了一系列测量设备，可以在 XY 平台上创建坐标系，并根据原点和测量点的坐标进行计算。通过使用它，可以减少平行对准步骤的数量。
对于显微镜来说，能够以大的放大倍率观察物体很重要，但能够立即获得宽广的视野也很重要。使用显微镜一次可以看到的面积称为视场，视场由目镜的直径决定。
视场的大小称为视场数，实际视场表示被测物体表面有多少部分在视场内可见。实际视场角与镜头倍率的关系如下。
实际视场=目镜视场数/物镜放大倍数
从上式可以看出，如果目镜视场数相同，随着物镜放大倍数的增大，实际视场范围会变窄。这说明增加物镜的放大倍数以放大待测物体与一次能看到的范围之间存在一种权衡。
要增加视野，必须增加目镜的直径或减小物镜的放大倍数。然而，由于测量需要放大倍数，因此物镜的放大倍数可以减小多少是有限度的。因此，测量显微镜配备了 XY 载物台和显示移动量的计数器，并配备了测量不适合视野的区域的装置。
