技术文章

玻璃涂层工艺 | 质量流量控制器

杭州域势科技有限公司 >> 进入商铺

2024/10/10 11:33:06

玻璃涂层在于修改其光学特性,提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求,玻璃涂层工艺要求严格。


为达到薄膜涂层优化品质标准,工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。Bronkhorst了解玻璃涂层工业的需求,开发了成熟的方案用以满足大规模玻璃涂层应用的要求。


应用要求

高品质涂层的一致性、高效、低成本是玻璃涂层行业的其中几项要求。通过控制具体工艺气体,改善薄膜一致性。另外,如果控制是通过可获得稳定流形的仪表完成,重复性、快速响应以及优化性能就可达成。

为了降低成本,仪表应当可靠、耐用,24小时/7天不间断工作。


重要议题

l 重复性

l 响应时间

l 可靠性

l 紧凑型,节省空间


工艺方案

通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积(PVD)工艺,其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使母体具有更好的性能。


喷溅的原子被推进到母体上,在其表面形成薄膜涂层。


工艺要求使用惰性气体:常用氩气,但是有些喷溅工艺采用氧化物或氮化物参与其中,这种情况下,惰性喷溅气体需加入氧气、氮气。


根据其特性,该工艺要求低压,但是工艺气体流量需足够离子轰击发生,否则不可能保持等离子。因此,工艺气体须精细控制,不然产品品质以及同质性的涂层将大打折扣。

带比例电磁控制阀,Bronkhorst质量流量控制器是这一应用的理想选择,可同时实现超快、平稳控制,优化稳定性和重复性。

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案,公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌,结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案,旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。


相关产品

猜你喜欢

当前客户在线交流已关闭
请电话联系他 :