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氧化铝氮化铝静电陶瓷吸盘平整面度是该产品在生产加工和出货检验中，非常重要的一项指标。因为这项参数是好坏，直接影响晶圆在蚀刻过程中产品不良率。在半导体加工中，对硅片的散热工作相当重要，如果无法保证硅片表面的均温，则在硅片的加工过程中将无法确保加工的均匀性，加工精度也会受到影响。获得大范围的温度域和充分的吸附力，静电吸盘可通过自由度高的加热器设计可以实现良好稳定性；氮化铝通过一体共烧成型，不会出现因电极的劣化造成历时变化，最大限度的保障产品质量；

方案选择：激光影像测量仪（通过激光测量，可以得到平面内高点和低点的高度差）

氧化铝氮化铝陶瓷吸盘平整面度测量操作步骤：

1. 选择点集功能，选择激光采点；找到要求平面度的面，对焦清晰，在激光采点界面选择图像，之后根据需要在平面上采两个点，在激光采点界面会同步显示采取的两点，选中两点鼠标右键选择组合路径；

   

2. .选择组合路径之后，两点会连成直线，将测量方式设定为扫描，点数设置为-1；

   
   

3. 设置好之后选中直线，鼠标右键选择平移，根据产品大小选择平移的距离、数量、方向。点击完成

   
   

4. 等待采点完成之后，元素列表区会出现一个点集，左键双击点集，图像区会显示刚才采取到的点，通过框选选取这些点，然后构造平面；

5. 构造平面完成之后，元素列表即会得到一个平面，选择平面，数据列表区即可得到平面度，测量值即为实际值

以上操作需要注意：在氧化铝氮化铝静电陶瓷吸盘的平面上选择起点与终点，在两点连成的线段内通过激光扫描取点，可以通过平移复制的方法将这个路径覆盖平面大部分位置，这样能够在平面内取到足够多的点形成点集，减小平面度计算误差。

武汉易测仪器激光影像测量仪：设备优势

三轴摇杆控制，自动对焦，编辑程序后一键测量，完成后自动输出测量报告。NG位置用红色显示。支持数据上传MES，自动化检测站。可以选配探针完成简易三维测量，选配激光完成高度，透明物体厚度，以及曲面轮廓测量。