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电镜制样 | 用EM TIC 3X解剖手机触摸屏玻璃

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2024/11/7 17:08:54
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徕卡EM TIC3X三离子束研磨仪解剖手机触摸屏玻璃,看到截面多层膜结构。


样品:手机触摸屏玻璃


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实验步骤:

预处理:玻璃刀切割掰断

EM TIC 3X三离子束研磨仪参数:

  • 加速电压:7.5kV

  • 离子束流:2.8mA

  • 研磨时间:3h

  • 切割深度:50μm左右

样品制备人员:徕卡纳米技术团队




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手机触摸屏玻璃截面:放大倍率6,000

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手机触摸屏玻璃截面:放大倍率50,000

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手机触摸屏玻璃截面:放大倍率60,000

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手机触摸屏玻璃截面:放大倍率80,000




总结

summarize

对这类玻璃基底多层膜样品,机械切割磨抛方式很难保证切割面的平整,也无法避免样品剖面的污染和边缘损伤;如果采用聚焦离子束FIB加工,应对几百微米的加工区域,将耗费大量时间和带来高使用成本。因此,离子束切割仪几乎成为高效率、低成本的获取无应力损伤和无污染的平整剖面的选择。



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