电感耦合等离子体质谱仪是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。
电感耦合等离子体质谱仪的结构组成与作用：
1、进样系统：用于将待测样品引入仪器。通常包括自动进样器、雾化器、雾化室等部件。自动进样器可以自动将样品溶液导入到雾化器中，雾化器则将样品溶液转化为气溶胶形式，以便进入等离子体进行电离。
2、离子源系统：包括等离子体发生器、进样锥、束缚器和离子透镜等组件。等离子体发生器产生高温等离子体，将气溶胶中的样品原子或分子电离成离子。进样锥引导离子流进入束缚器，束缚器通过电场作用束缚离子流，使其呈现出紧凑的轴对称状态。离子透镜则将束缚的离子加速并聚焦，使其快速地进入质量分析系统。
3、质量分析系统：通常由四级杆质量过滤器、离子光学系统、质量扫描器、离子检测器等组成。四级杆质量过滤器根据离子的质荷比进行分离，离子光学系统则负责将离子传输到质量扫描器中进行检测。离子检测器将离子信号转化为电信号，以便后续的数据处理分析。
4、真空系统：为了保持质量分析系统的高灵敏度和稳定性，ICP-MS需要在高真空状态下工作。真空系统通常由分子泵、机械泵、真空计等组成。
5、数据处理系统：用于接收、处理和分析离子检测器输出的信号。通常包括放大器、模数转换器、数据处理软件等部件。
